近日，半导体设备概念股大涨，而随着科技的不断进步和半导体市场的不断扩大，半导体设备行业也呈现出蓬勃发展的态势。因此，投资半导体设备概念股可能会获得较高的投资回报，那么半导体设备概念股有哪些?
03月22日，长川科技被深股通减持58.72万股，已连续4日被深股通减持，共计144.47万股，**持股量为807.86万股，占公司A股总股本的1.30%。
截至2024年3月21日收盘，至纯科技(603690)报收于26.99元，上涨0.37%，换手率1.45%，成交量5.59万手，成交额1.51亿元。
3月21日的资金流向数据方面，主力资金净流入572.78万元，占总成交额3.79%，游资资金净流入271.07万元，占总成交额1.79%，散户资金净流出843.85万元，占总成交额5.58%。
晶盛机电融资融券信息显示，2024年3月15日融资净偿还506.48万元;融资余额9.97亿元，较前一日下降0.51%。
融资方面，当日融资买入6186.13万元，融资偿还6692.61万元，融资净偿还506.48万元。融券方面，融券卖出5000股，融券偿还1.49万股，融券余量27.87万股，融券余额1052.09万元。融资融券余额合计10.08亿元。
截至2024年3月21日收盘，精测电子(300567)报收于73.2元，下跌0.14%，换手率2.13%，成交量4.4万手，成交额3.21亿元。
3月21日的资金流向数据方面，主力资金净流入336.81万元，占总成交额1.05%，游资资金净流入714.93万元，占总成交额2.23%，散户资金净流出1051.74万元，占总成交额3.27%。
